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ETA的分析步驟如下：（1）確定初始事件初始事件一般指系統故障、設備失效、工藝異常、人的失誤等，它們都是由事先設想或估計的。確定初始事件一般依靠分析人員的經(jīng)驗和有關(guān)運行、故障、事故統計資料來(lái)確定；對于新開(kāi)發(fā)系統或復雜系統，往往先應用其他分析、評價(jià)方法從分析的因素中選定，再用事件樹(shù)分析方法做進(jìn)一步的重點(diǎn)分析。

判定安全功能：在所研究的系統中包含許多能消除、預防、減弱初始事件影響的安全功能。常見(jiàn)的安全功能有自動(dòng)控制裝置、報警系統、安全裝置、屏蔽裝置和操作人員采取措施等。發(fā)展事件樹(shù)和簡(jiǎn)化事件樹(shù)：從初始事件開(kāi)始，自左向右發(fā)展事件樹(shù)，首先把初始事件一旦發(fā)生時(shí)起作用的安全功能狀態(tài)畫(huà)在上面的分支，不能發(fā)揮安全功能的狀態(tài)畫(huà)在下面的分支。然后依次考慮每種安全功能分支的兩種狀態(tài)，層層分解直至系統發(fā)生事故或故障為止。

選擇恰當工藝單元的重要參數包括：① 物質(zhì)的潛在化學(xué)能（物質(zhì)系數）② 工藝單元中危險物質(zhì)的數量；③ 資金密度（每平方米每元數）；④ 操作壓力與操作溫度；⑤ 導致火災、事故的歷史資料；⑥ 對裝置操作起關(guān)鍵作用的設備；一般情況下，這些參數的數值越大，則該工藝單元就越需要評價(jià)。工藝區域或工藝區附近的個(gè)別設備、關(guān)鍵設備或單機設備一旦遭受破壞，就可能導致停產(chǎn)數日；甚至的火災、，都可能導致停產(chǎn)而造成巨大的經(jīng)濟損失。因此，這些關(guān)鍵的設備所能導致的損失也是選擇恰當工藝單元的一個(gè)重要因素。